 |
ویفر 6 اینچی LiTaO3 LiNbO3 مشکی پلاریزه برای SAW / BAW 128 درجه Y Z-Cut
جزئیات محصول:
| محل منبع: | چین |
| نام تجاری: | ZMKJ |
| گواهی: | ROHS |
| شماره مدل: | JZ-4INCH-LNOI |
پرداخت:
| مقدار حداقل تعداد سفارش: | 2 عدد |
|---|---|
| قیمت: | by case |
| جزئیات بسته بندی: | ظرف ویفر تک در اتاق نظافت |
| زمان تحویل: | 4 هفته |
| شرایط پرداخت: | T/T، Western Union، PayPal |
| قابلیت ارائه: | 10 عدد در ماه |
|
اطلاعات تکمیلی |
|||
| مواد: | لایه LiNbO3 روی بستر سیلیکونی | ضخامت لایه: | 300-1000 نانومتر |
|---|---|---|---|
| گرایش: | X-CUT | برنامه 2: | دستگاه های اره/BAW 5G |
| Ra: | 0.5 نانومتر | لایه ایزوله: | Sio2 |
| لایه: | 525 میلی متر | اندازه: | 4 اینچ 6 اینچ 8 اینچ |
| برجسته: | ویفر 6 اینچی LiNbO3,ویفر BAW LiNbO3,ویفر Z-Cut LiTaO3 |
||
توضیحات محصول
ویفر 6 اینچی LiTaO3 LiNbO3 مشکی پلاریزه برای کاربردهای SAW / BAW 128 درجه Y Z-Cut
لیتیوم نیوبات (LiNbO3)تک کریستال یک کریستال فروالکتریک با ضریب جفت الکترومکانیکی بالا و تلفات انتشار کم است که می تواند برای ساخت دستگاه های SAW با پهنای باند تا 50٪ استفاده شود.خواص موج سطحی آکوستیک مواد تک کریستالی لیتیوم نیوبات ارتباط نزدیکی با جهت گیری و جهت انتشار آنها دارد.با توجه به زوایای مختلف برش و جهت انتشار، سرعت انتشار اره 3400 ~ 4000 متر بر ثانیه، ضریب جفت الکترومکانیکی 0٪ ~ 5.6٪ است، و ضریب دما -1.1 ~ -95.6 (10^-6 / ℃) است.
لیتیوم تانتالات (LiTaO3)دارای ویژگی های نوری پیزوالکتریک، الکترواپتیکی و غیرخطی و طیف شفافیت گسترده ای از اشعه ماوراء بنفش تا مادون قرمز است.مطلوب است که ویفر LiTaO3 یک سطح صاف باشد تا با کیفیت خوب عمل کند.پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) برای مسطح کردن مدارهای مجتمع (ICs) یا به دست آوردن کیفیت سطح بالایی از بسترها استفاده شده است.این مقاله به بررسی اثر اسید سیتریک به عنوان یک افزودنی در دوغاب برای LiTaO3 CMP می پردازد.زبری ویفرها پس از پرداخت توسط میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM, XE-100) اندازه گیری شد.دوغاب که حاوی اسید سیتریک به عنوان یک افزودنی است، نسبت به دوغاب بدون افزودنی دارای سرعت حذف مواد و نیروی اصطکاک بالاتری است.پس از پرداخت، زبری سطح ویفر LiTaO3 را می توان به 1.7 آمپر Ra کاهش داد.
مشخصات مشخصه
| ساختار کریستالی | Trigonal, Space Group R3c, Point Group 3m |
| نقطه ذوب | 1253 ℃ |
| سختی Mohs | 5 |
| چگالی (g/cm3) | 4.64 |
| ظرافت | هیچ یک |
| همگنی نوری | ~5x10-5/cm |
| محدوده شفافیت | 420-5200 نانومتر |
| ضریب جذب | ~0.1%/cm @1064nm |
ضرایب انکساری | ne=2.146، no=2.220@1300nm |
| ضرایب انبساط حرارتی (در 25 ℃) | //a,2.0x10-6/K |
| ضرایب هدایت حرارتی | 38 W/m/K در 25 ℃ |
| ضرایب نوری حرارتی | dno/dT=-0.874 x 10-6/K در 1.4μm |
معادلات سلمایر | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750)-0.027169λ2 |
| مواد | اره ویفر 3 "4" 6" LT / درجه نوری | ||
| گرایش | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ یا سفارشی | ||
| دمای کوری | 605°C±3°C | ||
| دوپ شده با | Fe | ||
| تک دامنه | قطبش کامل / کاهش یافته است | ||
| گرایش | 36°Y، 42°Y، X-112°Y، Y، Z | ||
| قطر | 0.2±76.2 میلی متر | 100±0.2 میلی متر | 0.2±150 میلی متر |
| تخت اولیه | 22±1 میلی متر | 32±1 میلی متر | 47.5 میلی متر، 57.5 میلی متر، بریدگی |
| ضخامت | 0.07mm~1.0mm | 0.1mm~1.0mm | 0.35mm~1.0mm |
| پرداخت سطح | تک / دو طرف پولیش / دو طرف لپ شده | ||
| تی تی وی | < 1 ~ 5 میکرومتر | ||
| تعظیم | ± (20μm ~40um ) | ||
| پیچ و تاب | <= 20μm ~ 50μm | ||
| LTV (5mmx5mm) | <1.5 ام | ||
| PLTV (<0.5um) | ≥98٪ (5 میلی متر * 5 میلی متر) با لبه 2 میلی متر حذف شده است | ||
| طرف پولیش Ra | زبری Ra<=5A | ||
| معیارهای سمت عقب | زبری Ra: 0.5-1.0μm، GC#1000 | ||
| خراش و حفاری (S/D) | 20/10، 40/20، 60/40 | ||
| نمایه لبه | با SEMI M1.2@with GC800# .به طور منظم در C تایپ کنید | ||
| ترک ها، آثار اره، لکه ها | هیچ یک | ||
نمایش ویفر LiTaO3 و LiNbO3
را