خلاصه: این مرور کلی را تماشا کنید تا دریابید چرا بسیاری از متخصصان به سینی کاربید سیلیکون CVD/SSiC با خلوص بالا برای پردازش ویفر نیمهرسانا توجه میکنند. در مورد استحکام مکانیکی استثنایی، پایداری حرارتی و دقت ابعادی آن که برای کاربردهای صنعتی پر تقاضا طراحی شده است، اطلاعات کسب کنید.
ویژگیهای مرتبط با محصول:
با شیارهای حلقوی چند ناحیهای مهندسی شده برای کاهش وزن و بهینهسازی جریان گرما.
دارای شبکهی دندهای شعاعی تقویتشده برای استحکام مکانیکی بیشتر و پایداری چرخشی.
سطح ماشینکاری شده با دقت بالا، صافی و یکنواختی ضخامت را برای کاربردهای نیمهرسانا تضمین میکند.
رابط نصب متمرکز امکان نصب ایمن بر روی شفتهای دوار و سیستمهای خودکار را فراهم میکند.
تقویت ساختاری در حلقه بیرونی، مقاومت در برابر لرزش و پایداری بار جانبی را افزایش می دهد.
موجود در مواد با عملکرد بالا از جمله SSiC، RBSiC، سرامیک آلومینا و فلزات با استحکام بالا.
ایدهآل برای تولید نیمهرسانا، تولید LED، پردازش مواد پیشرفته و ماشینآلات دقیق.
بهرهوری حرارتی، دوام ساختاری، پایداری فرآیند و قابلیت سفارشیسازی را برای نیازهای مختلف صنعتی ارائه میدهد.
سوالات:
سینی سرامیکی SiC چیست؟
یک سینی سرامیکی SiC یک حامل دقیق است که از کاربید سیلیکون با خلوص بالا ساخته شده است و برای پشتیبانی، بارگیری و حمل ویفرها یا زیرلایه ها در طول تولید نیمه هادی، LED، نوری و فرآیند خلاء طراحی شده است. این سینی پایداری حرارتی، استحکام مکانیکی و مقاومت در برابر تغییر شکل استثنایی را در محیط های خشن ارائه می دهد.
مزایای استفاده از سینیهای SiC در مقایسه با سینیهای کوارتز، گرافیت یا آلومینیوم چیست؟
سینیهای SiC مزایای عملکردی برتری را ارائه میدهند، از جمله مقاومت در برابر دمای بالا تا 1600-1800 درجه سانتیگراد، هدایت حرارتی عالی، استحکام مکانیکی برجسته، انبساط حرارتی کم، مقاومت در برابر خوردگی بالا و عمر طولانیتر در شرایط تولید مداوم با استرس بالا.
سینی های سرامیکی SiC عمدتاً در چه کاربردهایی استفاده می شوند؟
سینیهای SiC به طور گسترده در جابجایی ویفرهای نیمهرسانا، LPCVD، PECVD، فرآوری حرارتی MOCVD، آنیلینگ، انتشار، اکسیداسیون و فرآیندهای اپیتاکسی، بارگیری ویفرهای یاقوت کبود/زیرلایههای نوری، محیطهای خلاء بالا و دمای بالا، و پلتفرمهای فیکسچر CMP یا پولیش دقیق استفاده میشوند.