نام تجاری: | ZMSH |
شماره مدل: | SiC نوع N روی ویفر ترکیبی Si |
مقدار تولیدی: | 1 |
شرایط پرداخت: | T/T |
نوع N SiC بر روی Si Compound Wafer 6inch 150mm SiC نوع 4H-N Si نوع N یا P
N-type SiC بر روی Wafer ترکیب شده Si
کربید سیلیکون نوع N (SiC) بر روی بلوک های ترکیبی سیلیکون (Si) به دلیل کاربردهای امیدوار کننده آنها در دستگاه های الکترونیکی با قدرت بالا و فرکانس بالا توجه زیادی را به خود جلب کرده است.این مطالعه ساخت و توصیف SiC نوع N را بر روی سی سی مرکب ارائه می دهدبا استفاده از رسوب بخار شیمیایی (CVD) ، ما با موفقیت یک لایه SiC نوع N با کیفیت بالا را بر روی یک زیربنای Si رشد دادیم.اطمینان از حداقل عدم تطابق و نقص های شبکهیکپارچگی ساختاری وافر ترکیبی از طریق تجزیه و تحلیل دیفرانکشن اشعه ایکس (XRD) و میکروسکوپی الکترونی انتقال (TEM) تأیید شد.نشان دهنده یک لایه یکنواخت SiC با بلوری عالی استاندازه گیری های الکتریکی نشان داد که تحرک حامل برتر و مقاومت کاهش یافته است، که این وافرها را برای نسل بعدی الکترونیک قدرت ایده آل می کند.رسانایی حرارتی در مقایسه با وافرهای سنتی Si افزایش یافته است، که به از بین رفتن بهتر گرما در کاربردهای قدرتمند کمک می کند.نتایج نشان می دهد که SiC نوع N بر روی سلفی های مرکب Si پتانسیل بزرگی برای ادغام دستگاه های مبتنی بر SiC با عملکرد بالا با بستر فناوری سیلیکون به خوبی تاسیس شده است.
مشخصات و نمودار طرحی برایSiC نوع N بر روی Wafer مرکب Si
ماده | مشخصات | ماده | مشخصات |
---|---|---|---|
قطر | 150 ± 0.2 میلی متر | Si جهت گیری | <111>/<100>/<110> |
نوع SiC | ساعت 4 | نوع Si | P/N |
مقاومت SiC | 0.015 ٠.٠٢٥ Ω·cm | طول صاف | 47.5 ± 1.5 میلی متر |
ضخامت لایه انتقال SiC | ≥0.1 μm | تراش، خراش، ترک (بررسی بصری) | هيچکدوم |
باطل | ≤5 ea/wafer (2 mm < D < 0.5 mm) | TTV | ≤5 μm |
خشکی جلو | Ra ≤ 0.2 nm (5 μm × 5 μm) | ضخامت | 500/625/675 ± 25 μm |
SiC نوع N بر روی عکس های سی وافرهای مرکب
SiC نوع N بر روی کاربردهای Wafer مرکب Si
نوع N SiC بر روی Wafer های ترکیب Si دارای کاربردهای متنوعی است به دلیل ترکیب منحصر به فرد خود از خواص هر دو کربید سیلیکون (SiC) و سیلیکون (Si).این کاربردهای عمدتا بر روی قدرت بالا تمرکز می کنندبرخی از کاربردهای کلیدی شامل:
الکترونیک برق:
الکترونیک خودرو:
دستگاه های RF و مایکروویو:
هوافضا و دفاع:
الکترونیک صنعتی:
دستگاه های پزشکی:
به طور خلاصه، سی سی نوع N بر روی سی سی مرکب وافرهای متنوع و ضروری در برنامه هایی است که نیاز به کارایی بالا، قابلیت اطمینان و عملکرد در محیط های چالش برانگیز دارند.که آنها را به یک ماده کلیدی در پیشرفت فن آوری های الکترونیکی مدرن تبدیل می کند..