نام تجاری: | ZMSH |
مقدار تولیدی: | 1 |
یک قایق وافری که به عنوان قایق یا حامل نیز شناخته می شود، یک ابزار حیاتی در تولید نیمه هادی برای نگه داشتن، انتقال و موقعیت دادن وافرها است.طراحی آن باید در شرایط شدید مانند دمای بالا (> 1000 °C) مقاومت کند، خوردگی شیمیایی و تخلیه الکترواستاتیک (ESD) برای اطمینان از ایمنی وافر در طول فرآیندهای مختلف.
اصل
تراز و تثبیت:
سوراخ های موقعیت در قایق با پین های موجود در کیست وافر هماهنگ می شوند و امکان انتقال دسته را بدون دستکاری دستی فراهم می کنند.
قطعات دو لایه ای (بالا و پایین) وافرهایی را در طول چرخه حرارتی (به عنوان مثال، گرم کردن) امن می کنند.
مدیریت استرس حرارتی:
ماده ای با گسترش حرارتی کم (0.5×10−6/°C) در معرض نوسانات دما باعث به حداقل رساندن انحراف می شود.
ساختار شوره عسل فشار حرارتی را به طور مساوی توزیع می کند.
سازگاری فرآیند:
هندسه های سوراخ (به عنوان مثال، I-type، V-type) دارای ضخامت های مختلف وافره (300×800 μm) در حالی که جریان واکنش دهنده فاز گازی را تضمین می کند.
قطعه قطعی شکل الماس اجازه می دهد بارگذاری رباتیک دو طرفه، بهبود خروجی.
ایمنی و حفاظت:
اجزای بافر (فروشگاه ها، پد های لاستیکی) شوک های مکانیکی را در هنگام قرار دادن وفر جذب می کنند.
پاکسازی از نیتروژن باقی مانده ها را از بین می برد و از آلودگی جلوگیری می کند
ویژگی ها
شیشه سیلیکا ذوب شده یک شیشه صنعتی تخصصی است که از دی اکسید سیلیکون (SiO2) ساخته شده است. این به عنوان یک ماده پایه استثنایی با خواص فیزیکی و شیمیایی برجسته عمل می کند.
نقطه نرم شدن: ~1730°C.
به طور مستمر در دمای 1100~1250 درجه سانتیگراد کار می کند و به مدت کوتاهی در دمای 1450 درجه سانتیگراد مقاومت می کند.
مقاوم به اکثر اسیدهای (به جز اسید هیدروفلوئوریک)
مقاومت در برابر خوردگی 30 برابر بیشتر از سرامیک و 150 برابر بیشتر از فولاد است.
در شرایط حرارتی شدید پایداری را حفظ می کند و از سایر مواد بهتر عمل می کند.
ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین (~ 5.5 × 10−7 °C).
از شوک حرارتی (به عنوان مثال، گرم کردن به 1100 °C و خاموش کردن در آب) نجات می یابد.
انتقال طیف گسترده از ماوراء بنفش (UV) به مادون قرمز (IR).
انتقال نور قابل مشاهده: >95٪
ارتفاع انتقال اشعه ی UV در 85 درصد در محدوده ی 185 تا 250 نانومتر است.
مقاومت 10 هزار برابر از شیشه معمولی بالاتر است.
خواص ديالکتريک عالي حتی در دماهای بالا