وافرهای کوارتز وافرهای کوارتز 2′′ 3′′ 4′′ 6′′ 8′′ 12′′ سی او 2 نیمه هادی نوری

ویفر کوارتز ویفرهای کوارتز 2 اینچ، 3 اینچ، 4 اینچ، 6 اینچ، 8 اینچ، 12 اینچ SiO₂ نیمه‌رسانا نوری

معرفی ویفر کوارتز

ویفرهای کوارتز از دی‌اکسید سیلیسیم کریستالی (SiO₂) ساخته شده‌اند. خواص منحصربه‌فرد کوارتز آن را به یک ماده ضروری در صنایع مختلف با فناوری پیشرفته تبدیل می‌کند.

ویفرهای کوارتز ویژگی‌های عالی مانند مقاومت حرارتی بالا، انتقال نور عالی در طول موج‌های خاص، خنثی بودن شیمیایی و ضریب انبساط حرارتی کم را نشان می‌دهند. این ویژگی‌ها آنها را برای کاربردهایی که به پایداری در دماهای شدید، مقاومت در برابر مواد شیمیایی خشن و شفافیت در محدوده‌های طیفی خاص نیاز دارند، بسیار مناسب می‌کند.

در صنایعی مانند تولید نیمه‌رساناها، اپتیک و MEMS (سیستم‌های میکرو-الکترومکانیکی)، ویفرهای کوارتز به دلیل توانایی آنها در تحمل دماهای بالا بدون تغییر شکل یا تخریب، به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرند. آنها به عنوان زیرلایه برای رسوب لایه نازک، اچینگ ریزساختار یا ساخت اجزای دقیقی که به دقت ابعادی بالا و پایداری حرارتی نیاز دارند، عمل می‌کنند.

اصل تولید ویفر کوارتز

1. رشد کریستال
   شمش‌های کوارتز با استفاده از کریستال‌های بذر طبیعی یا مصنوعی از طریق روش‌های هیدروترمال یا همجوشی شعله (ورنیل) رشد می‌کنند.

2. برش شمش
   شمش‌های استوانه‌ای با استفاده از اره‌های سیمی الماسی به ویفرها برش داده می‌شوند و از یکنواختی ضخامت و حداقل تلفات کرف اطمینان حاصل می‌شود.

3. لاپینگ و پولیش
   ویفرها لاپینگ، اچ و سپس پولیش می‌شوند تا به یک سطح صاف آینه‌ای با زبری سطح کم (Ra < 1 نانومتر برای ویفرهای درجه اپتیکی) دست یابند.

4. تمیز کردن و بازرسی
   تمیز کردن اولتراسونیک یا RCA ذرات و آلاینده‌های فلزی را از بین می‌برد. هر ویفر تحت بازرسی ابعادی و صافی سطح قرار می‌گیرد.

مشخصات ویفر کوارتز

سوالات متداول در مورد ویفرهای کوارتز

1. ویفر کوارتز چیست؟

ویفر کوارتز یک دیسک نازک و مسطح است که از دی‌اکسید سیلیسیم کریستالی (SiO₂) ساخته شده است که معمولاً در اندازه‌های استاندارد نیمه‌رسانا (به عنوان مثال، 2 اینچ، 3 اینچ، 4 اینچ، 6 اینچ، 8 اینچ یا 12 اینچ) تولید می‌شود. ویفر کوارتز که به دلیل خلوص بالا، پایداری حرارتی و شفافیت نوری خود شناخته شده است، به عنوان یک زیرلایه یا حامل در کاربردهای مختلف با دقت بالا مانند ساخت نیمه‌رساناها، دستگاه‌های MEMS، سیستم‌های نوری و فرآیندهای خلاء استفاده می‌شود.

2. تفاوت بین کوارتز و ژل سیلیکا چیست؟

کوارتز یک شکل جامد کریستالی از دی‌اکسید سیلیسیم (SiO₂) است، در حالی که ژل سیلیکا یک شکل آمورف و متخلخل از SiO₂ است که معمولاً به عنوان یک ماده خشک‌کننده برای جذب رطوبت استفاده می‌شود.

• کوارتز سخت، شفاف است و در کاربردهای الکترونیکی، نوری و صنعتی استفاده می‌شود.

• ژل سیلیکا به صورت دانه‌های کوچک یا گرانول ظاهر می‌شود و در درجه اول برای کنترل رطوبت در بسته‌بندی، الکترونیک و ذخیره‌سازی استفاده می‌شود.

3. کریستال‌های کوارتز برای چه مواردی استفاده می‌شوند؟

کریستال‌های کوارتز به دلیل خواص پیزوالکتریک خود (آنها تحت تنش مکانیکی بار الکتریکی تولید می‌کنند) به طور گسترده در الکترونیک و اپتیک استفاده می‌شوند. کاربردهای رایج عبارتند از:

• نوسان‌سازها و کنترل فرکانس (به عنوان مثال، ساعت‌های کوارتز، ساعت‌ها، میکروکنترلرها)

• اجزای نوری (به عنوان مثال، لنزها، صفحات موج، پنجره‌ها)

• تشدیدگرها و فیلترها در دستگاه‌های RF و ارتباطی

• سنسورها برای فشار، شتاب یا نیرو

• ساخت نیمه‌رساناها به عنوان زیرلایه یا پنجره‌های فرآیند

4. چرا از کوارتز در ریزتراشه‌ها استفاده می‌شود؟

از کوارتز در کاربردهای مرتبط با ریزتراشه استفاده می‌شود زیرا موارد زیر را ارائه می‌دهد:

• پایداری حرارتی در طول فرآیندهای با دمای بالا مانند انتشار و بازپخت

• عایق الکتریکی به دلیل خواص دی‌الکتریک آن

• مقاومت شیمیایی در برابر اسیدها و حلال‌های مورد استفاده در ساخت نیمه‌رساناها

• دقت ابعادی و انبساط حرارتی کم برای تراز لیتوگرافی قابل اعتماد
  در حالی که خود کوارتز به عنوان ماده نیمه‌رسانای فعال (مانند سیلیکون) استفاده نمی‌شود، نقش حیاتی را در محیط ساخت ایفا می‌کند—به ویژه در کوره‌ها، محفظه‌ها و زیرلایه‌های ماسک نوری.

محصولات مرتبط

اجزای نوری کوارتز سفایر JGSI JGS2 با پایداری حرارتی قوی

پنجره شیشه‌ای کوارتز UV فیوز سیلیکا پورت نوری با پوشش اندازه سفارشی موجود