فورک سرامیکی SiC به صورت سفارشی ساخته شده قطعات ساختاری دقیق دستگیره وافرها قطعات نوری

چنگال سرامیکی SiC سفارشی، جزء ساختاری دقیق، ویفرهای دسته، جزء نوری

چکیدهدر سیستم های هوافضا، بازوهای چنگال SiC برای موارد زیر ارزش دارند

بازوی چنگال سرامیکی SiC یک جزء ساختاری است که از سیلیکون پیشرفته ساخته شده است.

مواد سرامیکی کاربید. این ماده عمدتاً در تجهیزات دقیقی استفاده می شود که به استحکام بالا، ضریب انبساط حرارتی کم و مقاومت در برابر سایش بالا نیاز دارند. شکل "بازوی چنگال" معمولاً در دستگاه های نوری پیشرفته، تجهیزات پردازش نیمه هادی و سیستم های جابجایی خودکار یافت می شود و به عنوان یک عنصر پشتیبانی، موقعیت یابی، انتقال یا گیره عمل می کند. در مقایسه با مواد فلزی سنتی، سرامیک کاربید سیلیکون مزایای قابل توجهی در عملکرد مکانیکی، پایداری حرارتی و مقاومت در برابر خوردگی ارائه می دهد و به تدریج به یک جزء عملکردی کلیدی در تولید مدرن با دقت بالا تبدیل شده است.

جدول ویژگی هایدر سیستم های هوافضا، بازوهای چنگال SiC برای موارد زیر ارزش دارند

طراحی و ساخت بازوهای چنگال سرامیکی SiC

طراحی ساختاری

بازوهای چنگال SiC بر اساس الزامات کاربردی سفارشی طراحی می شوند. اشکال رایج شامل بازوهای "U شکل" یا "T شکل" است که برای موارد زیر استفاده می شود:

• جابجایی ویفر

• موقعیت یابی کارت پروب

• پشتیبانی از ماژول نوری

موارد کلیدی در طراحی عبارتند از:

• ظرفیت بار و توزیع تنش

• جبران تنش حرارتی

• رابط های نصب دقیق

• سازگاری با اتاق تمیز

تکنیک های پردازش

فرآیند تولید شامل چندین مرحله حیاتی است:

• آماده سازی پودر

• شکل دهی (پرس خشک، پرس ایزواستاتیک یا ریخته گری)

• زینترینگ (به عنوان مثال، زینترینگ بدون فشار، پیوند واکنشی)

• ماشینکاری (سنگ زنی، حفاری لیزری، EDM)

• پرداخت سطح (پولیش، پوشش، علامت گذاری لیزری)

نمودار جریان فرآیند برای تهیه اجزای سرامیکی SiC

سناریوهای کاربردیچنگال سرامیکی SiCدر سیستم های هوافضا، بازوهای چنگال SiC برای موارد زیر ارزش دارند

تجهیزات نیمه هادی

بازوهای چنگال سرامیکی SiC معمولاً در سیستم های جابجایی ویفر برای فرآیندهایی مانند فوتولیتوگرافی، اچینگ و بسته بندی استفاده می شوند. مزایا عبارتند از:

• سطح غیر آلوده

• مقاومت در برابر دمای بالا

• دوام شیمیایی عالی

• سازگاری با اتاق های تمیز کلاس 10–1000

استفاده شده در:

• پورت های بار EFEM و FOUP

• حمل و نقل ویفر 6 اینچی، 8 اینچی و 12 اینچی

• سیستم های برداشت و قرار دادن خلاء

 سیستم های نوری و تلسکوپ ها

در ابزارهای نوری با دقت بالا، بازوهای چنگال SiC ارائه می دهند:

• پشتیبانی سفت و سخت برای آینه ها و لنزها

• تراز پایدار تحت تغییرات حرارتی

• ساختارهای سبک وزن برای موقعیت یابی پویا

آنها اغلب در موارد زیر استفاده می شوند:

تداخل سنج ها

• تلسکوپ های فضایی

• سیستم های اسکن لیزری

• هوا فضا و دفاع

ازچنگال سرامیکی SiCدر سیستم های هوافضا، بازوهای چنگال SiC برای موارد زیر ارزش دارند

وزن سبک و سفتی تحت لرزش

• مقاومت در برابر تشعشع و شوک حرارتی

• پایداری ساختاری در شرایط مدار نزدیک زمین

• نقش های معمولی شامل پشتیبانی از محموله، اتصالات گیمبال و پایه های نوری است.

سیستم های رباتیک و اتوماسیون

در محیط های اتوماسیون اتاق تمیز، بازوهای چنگال SiC به عنوان اثرگذار یا گیره استفاده می شوند و ارائه می دهند:

سطوح غیر رسانا و غیر تولید کننده ذرات

• عمر طولانی در محیط های ساینده یا خورنده

• مقاومت در برابر گازدهی در محفظه های خلاء

• سفارشی سازی و پشتیبانی فنی

به عنوان یک جزء دقیق غیر استاندارد، بازوهای چنگال سرامیکی SiC معمولاً بر اساس نیازهای کاربر سفارشی می شوند. پارامترهای قابل تنظیم عبارتند از:

ابعاد کلی (طول، عرض، ضخامت)

• اندازه و زاویه باز شدن

• پرداخت سطح و زبری

• پخ ها، سوراخ ها، شکاف ها

• سازگاری ویفر (6 اینچ، 8 اینچ، 12 اینچ)

• ما از خدمات چرخه کامل از جمله بررسی نقشه، شبیه سازی FEM برای رفتار مکانیکی و تأیید نمونه اولیه برای اطمینان از عملکرد و سازگاری پشتیبانی می کنیم.

محصولات مرتبط

سینی گرافیت 6 اینچی کاربید سیلیکون SiC با مقاومت در برابر دمای بالا صفحات گرافیتی