مروری بر محصول

حلقه‌های سرامیکی کاربید سیلیکون اجزای مهندسی شده دقیقی هستند که از سرامیک‌های کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا ساخته شده‌اند. با خواص برجسته‌ای از جمله مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت عالی در برابر خوردگی، استحکام مکانیکی بالا و مقاومت برتر در برابر سایش، حلقه‌های سرامیکی SiC به طور گسترده در تجهیزات تولید نیمه‌هادی، سیستم‌های خلاء، کوره‌های دمای بالا و کاربردهای صنعتی دقیق استفاده می‌شوند.

از طریق فرآیندهای پیشرفته شکل‌دهی، تف‌جوشی و ماشین‌کاری دقیق، این اجزا می‌توانند تلرانس‌های ابعادی دقیق، هندسه‌های پیچیده و پرداخت‌های سطحی عالی را برای برآورده کردن الزامات صنعتی سخت‌گیرانه به دست آورند.

ویژگی‌های کلیدی

1. عملکرد عالی در دمای بالا

• مقاومت در برابر محیط‌های با دمای بالا تا1600 درجه سانتی‌گراد+بسته به درجه مواد و شرایط کاربرد
• حفظ استحکام مکانیکی و پایداری ابعادی در دماهای بالا
• ایده‌آل برای پردازش حرارتی، اپیتاکسی، انتشار و کاربردهای کوره دمای بالا

2. خلوص بالا و آلودگی کم

• ساخته شده از مواد کاربید سیلیکون با خلوص بالا
• تولید ذرات کم و حداقل آلودگی فلزی
• مناسب برای محیط‌های اتاق تمیز نیمه‌هادی و کاربردهای پردازش ویفر

3. مقاومت برجسته در برابر خوردگی

• مقاومت عالی در برابر اسیدها، قلیاها و محیط‌های پلاسما
• عملکرد پایدار در برابر گازهای فرآیندی تهاجمی مانندCl₂، HCl و NF₃
• مناسب برای تجهیزات اچینگ نیمه‌هادی، CVD و PVD

4. استحکام مکانیکی بالا و مقاومت در برابر سایش

• سختی موس تقریباً9
• مقاومت عالی در برابر سایش برای عمر طولانی
• مناسب برای سازه‌های پشتیبانی دقیق و اجزای مکانیکی

5. قابلیت ماشین‌کاری دقیق

فرآیندهای ماشین‌کاری موجود شامل:

• ماشین‌کاری قطر خارجی و قطر داخلی
• سنگ‌زنی و پرداخت دقیق
• کنترل تلرانس ابعادی و هندسی دقیق
• ساختارهای پیچیده سفارشی

مشخصات محصول

کاربردها

تجهیزات تولید نیمه‌هادی

• حلقه‌های پشتیبانی ویفر
• اجزای محفظه نیمه‌هادی
• قطعات تجهیزات CVD / PECVD
• اجزای کوره رشد اپیتاکسی
• اجزای RTP (پردازش حرارتی سریع)
• سیستم‌های جابجایی و پشتیبانی ویفر

صنعت فتوولتائیک

• اجزای کوره دمای بالا
• تجهیزات پردازش حرارتی
• قطعات پشتیبانی ویفر سیلیکونی

سیستم‌های خلاء و دمای بالا

• اجزای کوره خلاء
• پشتیبانی سیستم گرمایش
• سازه‌های عایق حرارتی

کاربردهای صنعتی دقیق

• حلقه‌های آب‌بندی مقاوم در برابر سایش
• اجزای پمپ
• اجزای موقعیت‌یابی و پشتیبانی

سوالات متداول – حلقه سرامیکی کاربید سیلیکون (حلقه سرامیکی SiC)

سوال 1: حلقه سرامیکی کاربید سیلیکون چیست؟

پاسخ:حلقه سرامیکی کاربید سیلیکون یک جزء سرامیکی دقیق است که از کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا ساخته شده است. این ماده دارای مقاومت عالی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، استحکام مکانیکی و مقاومت در برابر سایش است که آن را برای تجهیزات نیمه‌هادی، سیستم‌های خلاء و کاربردهای دمای بالا مناسب می‌سازد.

سوال 2: مزایای اصلی حلقه‌های سرامیکی SiC چیست؟

پاسخ:حلقه‌های سرامیکی SiC مزایای متعددی را ارائه می‌دهند:

• پایداری عالی در دمای بالا (تا 1600 درجه سانتی‌گراد+ بسته به درجه مواد)
• مقاومت برتر در برابر پلاسما و خوردگی شیمیایی
• سختی بالا و مقاومت در برابر سایش
• انبساط حرارتی کم و پایداری ابعادی عالی
• تولید ذرات کم برای کاربردهای نیمه‌هادی

سوال 3: کدام صنایع از حلقه‌های سرامیکی کاربید سیلیکون استفاده می‌کنند؟

پاسخ:حلقه‌های سرامیکی SiC به طور گسترده در موارد زیر استفاده می‌شوند:

• تجهیزات تولید نیمه‌هادی
• سیستم‌های CVD، PECVD و PVD
• تجهیزات پردازش و جابجایی ویفر
• سیستم‌های رشد اپیتاکسی
• کوره‌های خلاء
• تجهیزات صنعتی دمای بالا
• تجهیزات تولید فتوولتائیک