پین بلند کننده ی سفیر برای نیمه هادی پین بلند کننده ی سرامیکی پین بلند کننده ی سفیر با خلوص بالا

پین بلند کننده ی سفیر برای نیمه هادی پین بلند کننده ی سرامیکی پین بلند کننده ی سفیر با خلوص بالا

خلاصه از زعفرون برقی

پین های بلند کننده ی سفیر قطعات مهندسی دقیق هستند که به طور گسترده ای در

تجهیزات پردازش نیمه هادی، به ویژه در دستکاری وافرهای اپیتاسیالسیستم های رشد و رسوب مانند MOCVD (رسوب بخار شیمیایی فلز آلی) ، PECVD (رسوب بخار شیمیایی تقویت شده پلازما) و دیگر سیستم های با دمای بالا، خلاء،یا محیط های خوردنیاز اکسید آلومینیوم تک کریستالی (Al2O3) ساخته شده است، که به عنوان زپیر مصنوعی نیز شناخته می شود، این پین های لیفت برای سختی، ثبات حرارتی، مقاومت شیمیایی،و دوام.

خواص فلز زعفران

انگشتان بلند کننده ی سفیر اغلب طراحی شده اند

مزایایی که از فلز های زعفرانی برای بلند کردن ماشین استفاده می شود

a.مقاومت در برابر دماهای بالا

سفیر در دمای بیش از 1500 درجه سانتیگراد قدرت مکانیکی خود را حفظ می کند، که آن را برای راکتورهای epitaxial و اتاق های رسوب که در آن مواد دیگر ممکن است منحرف شوند، اکسید شوند یا تخریب شوند مناسب می کند.

ب. ثبات شیمیایی

سفیر از نظر شیمیایی در گازهای واکنش پذیر و خوردنی مانند H2 ، NH3 و HF بی اثر است و عملکرد طولانی مدت را در محیط های CVD و حکاکی تضمین می کند.

ج. سخت بودن فوق العاده

سختی بالای سطح آن در برابر فرسایش و خراش ناشی از تماس و عملکرد مکانیکی است. این باعث به حداقل رساندن تولید ذرات و آلودگی می شود.

د. دقت ابعاد

سفیر را می توان به زاویه های تنگ (± 1 μm) ماشینکاری کرد ، که ارتفاع بلند وافر ، دقت موقعیت و قابلیت اطمینان از تراز را تضمین می کند.

e.تولید ذرات کم

بر خلاف سرامیک یا فلزات پوشش داده شده که ممکن است تحت چرخه حرارتی فلز شوند یا از گاز خارج شوند، سفیر ذرات تولید نمی کند، که برای محیط های تمیز و بسیار خالص فرآیند بسیار مهم است.

f.عمر طولانی

مقاومت و ثبات سفیر در شرایط شدید به کاهش فرکانس نگهداری و طولانی تر شدن زمان کار تجهیزات کمک می کند.

تصویر فیزیکی پین بلند کننده ی سفیر

استفاده از فلز های زعفران

پین های بلند کننده ی سفیر در طیف وسیعی از فرآیندهای نیمه هادی و مواد پیشرفته استفاده می شوند که در آن ها در طول ساخت و ساز نیاز به دستکاری دقیق و دقیق است. کاربردهای اصلی شامل:

a. سیستم های MOCVD

• رشد نیمه هادی ترکیبی مبتنی بر GaN، GaAs و InP

• تولید دیود های LED و لیزر

• وافرهای سفیر و زیربناهای آماده برای اپی

ب.راکتورهای PECVD و LPCVD

• انتقال وافره در طول رسوب فیلم نازک مبتنی بر پلاسما

• در میکروالکترونیک، سلول های خورشیدی، MEMS و فوتونیک استفاده می شود

ج.کوره های پردازش حرارتی

• مراحل گرمایش، اکسیداسیون یا پخش در دمای بالا

د.بازرسی و دستکاری وافره

• سیستم های مکانیکی که به طور موقت و یا دستکاری وافرها را پشتیبانی می کنند

e.اتاق های حکاکی و تمیز کردن

• در صورتی که مقاومت شیمیایی در هنگام تمیز کردن یا جدا کردن پیش از وافره بسیار مهم باشد

پرسش و پاسخ

سوال: هنگام خرید پین های زپیر چه عواملی باید در نظر گرفته شود؟

الف:سناریوی کاربرد

• شرایط مادی: تعیین شرایط محیطی که پین های لیفت در معرض آن قرار می گیرند، مانند دماهای بالا یا محیط های خوردنی.
• هدف: طراحی مناسب بر اساس کاربرد خاص (به عنوان مثال، اندازه گیری طیف سنجی، ابزار دقیق و غیره) انتخاب شود.

ابعاد و مشخصات

• قطر و طول: قطر و طول مناسب را بر اساس اندازه نمونه های پشتیبانی شده یا بلند شده انتخاب کنید.
• الزامات تحمل: اطمینان حاصل کنید که پین های لیفت با الزامات تحمل ابعاد برنامه شما برای حفظ دقت مطابقت دارند.

توصیه های مربوط به محصول

میله های سفیر