جزئیات محصولات

صفحه اصلی محصولات

ویفر سیلیکون کاربید

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch

تمام دسته ها

سوپر ترانسفورماتور Substrate Monocrystalline نازک

ویفر گالیم نیترویید

با ما تماس بگیرید

Mr. Wang

Eric-wang@sapphire-substrate.com

+8615801942596

اکنون تماس بگیرید

تمام دسته ها

سوپر ترانسفورماتور Substrate Monocrystalline نازک

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch

نام تجاری:	ZMSH
مقدار تولیدی:	2
قیمت:	20USD
جزئیات بسته بندی:	کارتن های سفارشی
شرایط پرداخت:	T/T

اطلاعات دقیق

توضیحات محصول

اطلاعات دقیق

محل منبع:

چین

مواد:

مواد

حداکثر قطر:

حداکثر 370 میلی متر

مقاومت:

کیفیت پایین <0.02 Ω·cm; میدل Res. 0.2-25 Ω·cm؛ کیفیت بالا > 100 Ω·cm

RRG:

وضعیت سطح:

خاکی

دقت ماشینکاری:

<10 میکرومتر

قابلیت ارائه:

بر حسب مورد

برجسته کردن:

اجزای کاربید سیلیکون پلی کریستالی CVD

ویفر SiC برای کاربردهای هوش مصنوعی

اجزای کاربید سیلیکون با پوشش AR

توضیحات محصول

برای کاربردهای تجهیزات نیمه هادی

قطعات CVD SiC قطعات مصرفی و ساختاری کلیدی هستند که در تجهیزات نیمه هادی استفاده می شوند.خشکی، EPI، انتشار و RTPفرآیندها

با عالیخلوص بالا، رسانایی حرارتی، مقاومت در برابر خوردگی پلاسما، ثبات در دمای بالا، تولید ذرات کم و قابلیت ماشینکاری دقیق، اجزای CVD SiC برای محیط های فرآیند نیمه هادی سخت مناسب هستند.

استفاده از خشکی

در تجهیزات حکاکی خشک، اجزای سی سی وی دی سی سی و سیلیکون عمدتاً در داخل اتاق فرآیند نصب می شوند. آنها برای کنترل پلاسما، حفاظت از لبه های وفر، سیستم های الکترود،حفاظت از اتاق، و بهبود یکنواختی فرآیند.

اجزای معمولی

اجزا	مواد	درخواست
الکترود داخلی	Si / SiC	در سیستم الکترود برای کنترل واکنش پلاسمایی استفاده می شود
الکترود بیرونی	Si / SiC	با الکترود داخلی کار می کند تا یکنواختی حکاکی را بهبود بخشد
حلقه C-Shroud	آره	برای محافظت از اتاق و کنترل جریان پلاسما/گاز استفاده می شود
حلقۀ داغ کناره	Si / SiC	از لبه های وفر محافظت می کند و عملکرد حکاکی لبه را بهبود می بخشد
حلقه پوشش زمین	کوارتز	برای زمین زدن و محافظت از اتاق استفاده می شود
حلقه ي جفت	کوارتز	قطعات پشتیبان و وصل کننده در داخل اتاق
حلقه کوارتز	کوارتز	برای مهر و موم، پشتیبانی یا عایق بندی در اتاق استفاده می شود

مزیت های اصلی

اجزای CVD SiC مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی پلاسما در محیط های حکاکی مبتنی بر فلور و کلور دارند. آنها به کاهش آلودگی ذرات کمک می کنند، فرسایش قطعات را به حداقل می رسانند،فواصل نگهداری را افزایش دهید، و بهبود ثبات فرآیند.

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch 0

سری اصلی محصولات

الکترود Si

الکترود های Si عمدتاً در تجهیزات حکاکی خشک به عنوان قطعات الکترود استفاده می شوند. آنها برای فرآیندهای نیمه هادی بالغ و جایگزینی قطعات پشتیبان تجهیزات مناسب هستند.

ماده	مشخصات
مواد	سیلیکون یک کریستال
حداکثر قطر	حداکثر 480 میلی متر
مقاومت	رزولوشن پایین <0.02 Ω·cm؛ رزولوشن متوسط 1 ¥4 Ω·cm؛ رزولوشن بالا 70 ¥90 Ω·cm
RRG	<۵٪
سوراخ گاز	قطر: 0.2~0.8 میلی متر
وضعیت سطح	پولیش شده / شسته شده / خرد شده
دقت ماشینکاری	<10 μm
بازرسی کیفیت	بدون تکه، خراش، ترک، لکه و نقایص دیگر

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch 1 حلقه سي

حلقه های Si در اتاق های حکاکی برای محافظت از لبه وافره، پشتیبانی و کنترل پلاسما استفاده می شود.

ماده	مشخصات
مواد	سیلیکون تک کریستال / سیلیکون چند کریستال
حداکثر قطر	حداکثر 480 میلی متر
مقاومت	رزولوشن پایین <0.02 Ω·cm؛ رزولوشن متوسط 1 ¥4 Ω·cm؛ رزولوشن بالا 70 ¥90 Ω·cm
RRG	<۵٪
وضعیت سطح	پولیش شده / شسته شده / خرد شده
دقت ماشینکاری	<10 μm
بازرسی کیفیت	بدون تکه، خراش، ترک، لکه و نقایص دیگر

حلقه CVD SiC

حلقه های CVD SiC به عنوان حلقه های لبه ای، حلقه های محافظ و حلقه های پشتیبانی در دستگاه های Dry Etch، EPI، RTP و سایر تجهیزات نیمه هادی استفاده می شوند.

ماده	مشخصات
مواد	CVD SiC
حداکثر قطر	حداکثر ۳۷۰ میلی متر
مقاومت	رزولوشن پایین <0.02 Ω·cm؛ رزولوشن متوسط 0.2 ≈ 25 Ω·cm؛ رزولوشن بالا >100 Ω·cm
RRG	<۵٪
وضعیت سطح	زمین
دقت ماشینکاری	<10 μm
بازرسی کیفیت	بدون تکه، خراش، ترک، لکه و نقایص دیگر

الکترود CVD SiC

الکترود های سی سی وی دی به عنوان قطعات کلیدی الکترود در تجهیزات حکاکی خشک استفاده می شوند. در مقایسه با الکترود های سیلیکونی معمولی،الکترود های CVD SiC مقاومت بهتر در برابر خوردگی و عمر طولانی تری را فراهم می کنند.

ماده	مشخصات
مواد	CVD SiC
حداکثر قطر	حداکثر 330 میلی متر
مقاومت	رزولوشن پایین <0.02 Ω·cm؛ رزولوشن متوسط 0.2 ≈ 25 Ω·cm؛ رزولوشن بالا >100 Ω·cm
RRG	<۵٪
وضعیت سطح	زمین
دقت ماشینکاری	<10 μm
بازرسی کیفیت	بدون تکه، خراش، ترک، لکه و نقایص دیگر

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch 2

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch 3 خواص مواد CVD Polycrystalline SiC

سی سی پلی کریستالین CVD با رسوب بخار شیمیایی تولید می شود.و ثبات قوی در محیط های فرآیند پاک نیمه هادی.

مالکیت	واحد	ارزش معمولی
تراکم	g/cm3	3.۲۱۳22
قدرت خم شدن	MPa	320 ¥380
رسانایی حرارتی	W/m·K	۲۴۰ ٫۳۶۰
اندازه دانه	μm	5 ¢10
خلوص	%	99.99997
سختی میکرو ویکرز	HV	۳۱۰۰ ₹ ۳۷۰۰
ماژول انعطاف پذیر	GPa	۴۵۰۵۳۰
نرخ XRD	-	0.65-11
CTE، RT تا 1000°C	10−6/K	4.85.1

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch 4

مزایای محصول

خالصیت بالا

خالصيت سي سي سي CVD مي تونه به99.99997%، کمک به کاهش خطر آلودگی فلز در فرآیندهای نیمه هادی.

مقاومت عالی در برابر خوردگی پلاسما

CVD SiC ثبات خوبی را در محیط های پلاسمایی مبتنی بر فلور و کلور حفظ می کند، باعث کاهش فرسایش قطعات و تولید ذرات می شود.

رسانایی حرارتی بالا

با رسانایی حرارتی:۲۴۰ ٫۳۶۰ W/m·K، CVD SiC به بهبود یکنواختی میدان حرارتی و سازگاری فرآیند کمک می کند.

ثبات در دمای بالا

اجزای CVD SiC برای EPI ، انتشار ، RTP و سایر فرآیندهای دمای بالا مناسب هستند. آنها ثبات ابعاد خوبی را در طول استفاده طولانی مدت حفظ می کنند.

سختی بالا و مقاومت در برابر فرسایش

سختی بالای ویکرز مقاومت بسیار خوبی در برابر فرسایش را فراهم می کند و به افزایش عمر خدمت قطعات کمک می کند.

ماشینکاری سفارشی در دسترس است

محصولات می توانند بر اساس نقشه های مشتری، از جمله قطر بیرونی، قطر داخلی، سوراخ ها، شکاف ها، پله ها، چامفرها، وضعیت سطح و دقت مونتاژ سفارشی شوند.

زمینه های کاربرد

اجزای سی سی پولی کریستالین CVD به طور گسترده ای در:

تجهیزات حکاکی خشک
تجهیزات اپیتاکسی
تجهیزات کوره های پخش
تجهیزات RTP
قطعات OEM تجهیزات نیمه هادی
جایگزینی قطعات جایگزین Wafer Fab
فرآیند های وافرهای Si، SiC، GaN، GaAs

پرسش و پاسخ

س1: سی سی پلی کریستالین CVD چیست؟اجزایبرای چی استفاده می کنن؟

سی سی پولی کریستالین CVDاجزایعمدتا در نیمه هادی استفاده می شودتجهیزات,از جمله خشکبریده، EPI، انتشار و RTPسیستم هانمادینمحصولات شامل:حلقه های SiC، SiCالکترودها,لبهحلقه ها، حساس کننده ها، قایق های SiC و واترهای ساختگی.

سوال2: مزایای سی سی سی سی وی دی در مقایسه با قطعات کوارتز یا سیلیکون چیست؟

CVD SiC بهتر ارائه می دهدخوردگی پلاسمامقاومت، با دمای بالاثبات، رسانایی حرارتی، سختی وخدماتزندگیميتونهکاهش دهد ذراتتولید واجزالباس بپوشیدسختنیمه هادیفرآیند محیط ها.

س3: چه مواددر دسترسبرای ایناجزای?

ما ميتونيماجزایازCVD SiC، تککریستالسیلیکون، چندکریستالسیلیکون و کوارتز، بسته بهدرخواستوتجهیزات الزامات.

برچسب‌ها:

زیرکره ی Sapphire

ویندوز ایکس پی

ویفر سیلیکون کاربید

لوله یاقوت کبود

بستر نیمه هادی

سنگ مصنوعی

قطعات سرامیکی

تجهیزات آزمایشگاهی علمی

سفارشی کریستال دیده بان مورد

جعبه حامل ویفر

سوپر ترانسفورماتور Substrate Monocrystalline نازک

ویفر گالیم نیترویید

زیرکره ی Sapphire

ویندوز ایکس پی

ویفر سیلیکون کاربید

لوله یاقوت کبود

بستر نیمه هادی

سنگ مصنوعی

قطعات سرامیکی

تجهیزات آزمایشگاهی علمی

سفارشی کریستال دیده بان مورد

جعبه حامل ویفر

سوپر ترانسفورماتور Substrate Monocrystalline نازک

ویفر گالیم نیترویید

جزئیات محصولات

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch

زیرکره ی Sapphire

ویندوز ایکس پی

ویفر سیلیکون کاربید

لوله یاقوت کبود

بستر نیمه هادی

سنگ مصنوعی

قطعات سرامیکی

تجهیزات آزمایشگاهی علمی

سفارشی کریستال دیده بان مورد

جعبه حامل ویفر

سوپر ترانسفورماتور Substrate Monocrystalline نازک

ویفر گالیم نیترویید

زیرکره ی Sapphire

ویندوز ایکس پی

ویفر سیلیکون کاربید

لوله یاقوت کبود

بستر نیمه هادی

سنگ مصنوعی

قطعات سرامیکی

تجهیزات آزمایشگاهی علمی

سفارشی کریستال دیده بان مورد

جعبه حامل ویفر

سوپر ترانسفورماتور Substrate Monocrystalline نازک

ویفر گالیم نیترویید

اجزای CVD SiC برای تجهیزات نیمه هادی SiC Ring SiC Electrode dry etch

اجزای کاربید سیلیکون پلی کریستالی CVD

ویفر SiC برای کاربردهای هوش مصنوعی

اجزای کاربید سیلیکون با پوشش AR

برای کاربردهای تجهیزات نیمه هادی

استفاده از خشکی

اجزای معمولی

مزیت های اصلی

سری اصلی محصولات

الکترود Si

حلقه CVD SiC

الکترود CVD SiC

مزایای محصول

خالصیت بالا

مقاومت عالی در برابر خوردگی پلاسما

رسانایی حرارتی بالا

ثبات در دمای بالا

سختی بالا و مقاومت در برابر فرسایش

ماشینکاری سفارشی در دسترس است

زمینه های کاربرد

پرسش و پاسخ

س1: سی سی پلی کریستالین CVD چیست؟اجزایبرای چی استفاده می کنن؟

سوال2: مزایای سی سی سی سی وی دی در مقایسه با قطعات کوارتز یا سیلیکون چیست؟

س3: چه مواددر دسترسبرای ایناجزای?