خلاصه

کربید سیلیکون (SiC) ، یک نیمه هادی نسل سوم با باند گسترده، بر بازارهای دمای بالا، فرکانس بالا و قدرت بالا از جمله EV ها، 5G و انرژی های تجدیدپذیر تسلط دارد.​پودر سیلیکونبرای SiCیک منبع سیلیکون فوق العاده خالص تخصصی است که برای رشد کریستال SiC و ساخت دستگاه طراحی شده است.تکنولوژی CVD با کمک پلاسما، ارائه می دهد:

• خلوص فوق العاده بالا: ناخالصی های فلزی ≤1 ppm، اکسیژن ≤5 ppm (با استانداردهای ISO 10664-1 مطابقت دارد).
• اندازه ذرات قابل تنظیم: محدوده D50 0.1 ‰ 5 μm با توزیع باریک (PDI < 0.3).
• واکنش پذیری عالی: ذرات کروی فعالیت شیمیایی را افزایش می دهند و نرخ رشد SiC را 15 ٪ افزایش می دهند.
• انطباق با محیط زیست: گواهینامه RoHS 2.0/REACH، غیر سمی و خطر باقیمانده صفر.
   

بر خلاف پودرهای سیلیکون متالورژیک معمولی، محصول ما از پراکندگی در مقیاس نانو و تصفیه پلاسما برای کاهش تراکم نقص استفاده می کند، که تولید کارآمد و 8 اینچ و بیشتر سی سی سی را امکان پذیر می کند..

معرفی شرکت

شرکت ما، ZMSH، یک بازیگر برجسته در صنعت نیمه هادی برایبیش از یک دههما تخصصي در ارائه راه حل هاي سفارشي وافير داريمارائه هر دو طرح های سفارشی و خدمات OEM برای پاسخگویی به نیازهای متنوع مشتریدر ZMSH، ما متعهد به ارائه محصولات که در هر دو قیمت و کیفیت برجسته، اطمینان از رضایت مشتری در هر مرحله.ما از شما دعوت می کنیم که برای اطلاعات بیشتر یا برای بحث در مورد نیازهای خاص خود با ما تماس بگیرید.

پودر سیلیکون پارامترهای فنی

استفاده از پودر SiC

1. رشد کریستال SiC​

• ​فرآیند: PVT (حمل بخار) /LPE (Epitaxy فاز مایع)
• ​نقش: منبع Si با خلوص بالا با پیشگامان کربن (C2H2 / CH4) در > 2000 °C واکنش نشان می دهد تا هسته های SiC را تشکیل دهد.
• ​مزایا: محتوای کم اکسیژن نقص های مرزی دانه را به حداقل می رساند؛ اندازه ذرات یکنواخت نرخ رشد را 15 ٪ افزایش می دهد.

​2. MOCVD تخلیه اپیتاکسیال​

• ​فرآیند: CVD فلزی آلی (MOCVD)
• ​نقش: منبع دوپینگ برای لایه های SiC نوع n/p.
• ​مزایا: مواد فوق خالص از آلودگی لایه اپیتاسیال جلوگیری می کند و باعث می شود که تراکم گیرنده الکترون <1014 سانتی متر-3 باشد.

​3. CMP پولیش​

• ​فرآیند: طرح بندی شیمیایی مکانیکی
• ​نقش: با زیربنای SiC واکنش نشان می دهد تا SiO2 محلول را برای صاف کردن سطح تشکیل دهد.
• ​مزایا: ذرات کروی خطر خراش را کاهش می دهند؛ سرعت پولیش 3 برابر در مقایسه با خمیر آلومینیوم افزایش می یابد.

​4انرژی های تجدید پذیر و فتوولتائیک​

• ​درخواست ها: سوراخ هایی که لایه ها را در سلول های خورشیدی پرووسکیت حمل می کنند، افزودنی های الکترولیت در حالت جامد.
• ​مزایا: SSA بالا پراکندگی مواد را افزایش می دهد و مقاومت رابط را کاهش می دهد.

نمایش محصول - ZMSH

پودر SiCFAق

س: طهارت سیلیکون چگونه بر عملکرد دستگاه SiC تاثیر می گذارد؟

الف:ناخالصی ها (به عنوان مثال ، آل ، ن) نقص های سطح عمیق ایجاد می کنند و ترکیب مجدد حامل را افزایش می دهند. پودر سیلیکون ما (<0.5 ppm فلزات) RDS ((on) را در MOSFET های SiC 6 اینچی 10 ٪15٪ کاهش می دهد.