پارامتر	ارزش
ابعاد	7740 × 3390 × 2300mm (L × W × H)
منبع برق	AC380V، 50Hz، کل قدرت 90KW
تامین پنوماتیک	2m3/h، 0.4-0.5MPa هوای خشک بدون روغن
تامین آب	2T/h @0.3MPa، ≥12MΩ·cm مقاومت

اصل کار

مرحله تمیز کردن دیسک سرامیکی

تمیز کردن دقیق: استفاده از تمیز کردن فوق صوتی با آب دیونیزه شده (≥ 12MΩ · cm) برای حذف آلاینده های سطح میکروونی از دیسک های سرامیکی.
سیستم خشک کردن: چاقوی هوا با کارایی بالا و خشک کردن خلاء تضمین رطوبت باقیمانده صفر.

فرآیند موم کردن خودکار

تراز بینایی: دوربین های CCD مختصات سطح دیسک را اسکن می کنند و به دقت موقعیت ± 0.02mm می رسند.
تحرک موم کنترل شده: سرهای توزیع موم قابل برنامه ریزی 0.8g±0.05g موم در هر وافر را اعمال می کنند.
بهینه سازی فشار: محرک های پنوماتیک فشار تماس یکنواخت 5-10N/cm2 را در طول نصب وافر حفظ می کنند.

کنترل یکپارچه

عملیات همزمان: PLC، ماژول تمیز کردن و ایستگاه های دوگانه را هماهنگ می کند، که امکان پردازش موازی را فراهم می کند (حداکثر 30 دیسک در ساعت).
بازخورد با کیفیت: حسگرهای ضخامت در زمان واقعی یکسانی لایه موم را تشخیص می دهند و اگر انحراف بیش از ±3٪ باشد، پارامترها را به طور خودکار تنظیم می کنند.

مزیت های اصلی

بهره وری انرژی: نرخ بازیافت آب خالص > 80٪، مصرف موم 0.8g / وافر، 35٪ انرژی کمتر در هر دیسک
اتصال هوشمند: سازگار با MES / ERP برای ردیابی داده های کامل فرآیند (ضخامت / فشار / زمان)
مقیاس پذیری: ابزار قابل تنظیم و دستور العمل برای دیسک های غیر استاندارد Φ300-650mm

ظرفیت تولید

اندازه وافره	قطر دیسک	مقدار	زمان چرخه
4 اينچ	Φ485mm	11تا	5 دقیقه/دیسک
4 اينچ	Φ576mm	13تا	6 دقیقه/دیسک
6 اينچ	Φ485mm	6 عدد	3 دقیقه/دیسک
6 اينچ	Φ576mm	8 عدد	4 دقیقه/دیسک
8 اينچ	Φ485mm	3 عدد	2 دقیقه/دیسک
8 اينچ	Φ576mm	پنج تا	3 دقیقه/دیسک

درخواست ها

درمان کامل دیسک سرامیکی: تمیز کردن→ خشک کردن→ واکس کردن در یک دستگاه

این ماده در پردازش مواد نیمه هادی مانند کربید سیلیکون (SiC) ، سیلیکون (Si) ، گالیوم نیترید (GaN) استفاده می شود و همچنین می تواند برای مواد مانند سفیر، سرامیک، کریستال،MEMS، و محصولات نوری.

پاکسازی دیسک سرامیکی - واکسینگ ماشین یکپارچه صنایع نیمه هادی خودکار 0

پرسش و پاسخ

سوال1: چگونه می توان نرخ بازده را تضمین کرد؟
A1: سیستم دید اختصاصی برای دیسک های سرامیکی به دقت ± 0.02mm در زمان واقعی رسیدن می کند.

سوال2: مصرف آب تمیز کردن دیسک سرامیکی؟
A2: نرخ بازیافت آب > 80٪، مصرف ≤ 0.5L/disc

س3: چگونه می توان تغییر سریع اندازه وافر را به دست آورد؟
A3: کتابخانه لوازم هوشمند دستگاه یکپارچه به طور خودکار ابزار را از طریق انتخاب HMI تغییر می دهد (زمان تغییر <3 دقیقه).

برچسب‌ها: