 |
پاکسازی دیسک سرامیکی - واکسینگ ماشین یکپارچه صنایع نیمه هادی خودکار
جزئیات محصول:
| محل منبع: | چین |
| نام تجاری: | ZMSH |
|
اطلاعات تکمیلی |
|||
| ابعاد: | 7740 × 3390 × 2300mm (L × W × H) | منبع برق: | AC380V ، 50Hz ، کل قدرت 90kW |
|---|---|---|---|
| تامین پنوماتیک: | 2m³/h ، 0.4-0.5mpa هوای خشک بدون روغن | تامین آب: | 2t/h @0.3mpa ، ≥12mΩ · مقاومت سانتی متر |
| برجسته کردن: | صنایع نیمه هادی تمیز کردن موم کردن ماشین یکپارچه,دستگاه یکپارچه تمیز کردن دیسک سرامیکی,Ceramic Disc Cleaning Waxing Integrated Machine |
||
توضیحات محصول
خلاصه ی محصول
این ماشین پاکسازی دیسک سرامیکی و موم کردن یکپارچه ترکیبی از یک پاک کننده دیسک سرامیکی با دو دستگاه نصب دیسک سرامیکی،طراحی شده برای تمیز کردن با کارایی بالا و موم کردن وافرها در صنایع یاقوت و نیمه هادی، به دست آوردن نرخ بازده پایدار 99.9٪.
مشخصات فنی
| پارامتر | ارزش |
| ابعاد | 7740 × 3390 × 2300mm (L × W × H) |
| منبع برق | AC380V، 50Hz، کل قدرت 90KW |
| تامین پنوماتیک | 2m3/h، 0.4-0.5MPa هوای خشک بدون روغن |
| تامین آب | 2T/h @0.3MPa، ≥12MΩ·cm مقاومت |
اصل کار
مرحله تمیز کردن دیسک سرامیکی
-
تمیز کردن دقیق: استفاده از تمیز کردن فوق صوتی با آب دیونیزه شده (≥ 12MΩ · cm) برای حذف آلاینده های سطح میکروونی از دیسک های سرامیکی.
-
سیستم خشک کردن: چاقوی هوا با کارایی بالا و خشک کردن خلاء تضمین رطوبت باقیمانده صفر.
فرآیند موم کردن خودکار
-
تراز بینایی: دوربین های CCD مختصات سطح دیسک را اسکن می کنند و به دقت موقعیت ± 0.02mm می رسند.
-
تحرک موم کنترل شده: سرهای توزیع موم قابل برنامه ریزی 0.8g±0.05g موم در هر وافر را اعمال می کنند.
-
بهینه سازی فشار: محرک های پنوماتیک فشار تماس یکنواخت 5-10N/cm2 را در طول نصب وافر حفظ می کنند.
کنترل یکپارچه
-
عملیات همزمان: PLC، ماژول تمیز کردن و ایستگاه های دوگانه را هماهنگ می کند، که امکان پردازش موازی را فراهم می کند (حداکثر 30 دیسک در ساعت).
-
بازخورد با کیفیت: حسگرهای ضخامت در زمان واقعی یکسانی لایه موم را تشخیص می دهند و اگر انحراف بیش از ±3٪ باشد، پارامترها را به طور خودکار تنظیم می کنند.
مزیت های اصلی
-
بهره وری انرژی: نرخ بازیافت آب خالص > 80٪، مصرف موم 0.8g / وافر، 35٪ انرژی کمتر در هر دیسک
-
اتصال هوشمند: سازگار با MES / ERP برای ردیابی داده های کامل فرآیند (ضخامت / فشار / زمان)
-
مقیاس پذیری: ابزار قابل تنظیم و دستور العمل برای دیسک های غیر استاندارد Φ300-650mm
ظرفیت تولید
| اندازه وافره | قطر دیسک | مقدار | زمان چرخه |
| 4 اينچ | Φ485mm | 11تا | 5 دقیقه/دیسک |
| 4 اينچ | Φ576mm | 13تا | 6 دقیقه/دیسک |
| 6 اينچ | Φ485mm | 6 عدد | 3 دقیقه/دیسک |
| 6 اينچ | Φ576mm | 8 عدد | 4 دقیقه/دیسک |
| 8 اينچ | Φ485mm | 3 عدد | 2 دقیقه/دیسک |
| 8 اينچ | Φ576mm | پنج تا | 3 دقیقه/دیسک |
درخواست ها
درمان کامل دیسک سرامیکی: تمیز کردن→ خشک کردن→ واکس کردن در یک دستگاه
این ماده در پردازش مواد نیمه هادی مانند کربید سیلیکون (SiC) ، سیلیکون (Si) ، گالیوم نیترید (GaN) استفاده می شود و همچنین می تواند برای مواد مانند سفیر، سرامیک، کریستال،MEMS، و محصولات نوری.
پرسش و پاسخ
سوال1: چگونه می توان نرخ بازده را تضمین کرد؟
A1: سیستم دید اختصاصی برای دیسک های سرامیکی به دقت ± 0.02mm در زمان واقعی رسیدن می کند.
سوال2: مصرف آب تمیز کردن دیسک سرامیکی؟
A2: نرخ بازیافت آب > 80٪، مصرف ≤ 0.5L/disc
س3: چگونه می توان تغییر سریع اندازه وافر را به دست آورد؟
A3: کتابخانه لوازم هوشمند دستگاه یکپارچه به طور خودکار ابزار را از طریق انتخاب HMI تغییر می دهد (زمان تغییر <3 دقیقه).