سيکوي سيستم کنترل زمان واقعي 99.9 درصد دقت الگوریتم براي روبات و ماشين هاي سي ان سي

مقدمه
سیلیکونکاربیددرعایق (SICOI)نازکفیلمنمایندهبوهابرشلبهطبقهازترکیبیمواد ،ایجاد شدهاز طرفادغام کنندهبوهامرتفعبا کیفیت ،تککریستالسیلیکونکاربید (sic)لایهبه طور معمول500به600نانومترضخیمبربوهاسیلیکوندی اکسید (sio₂)پایهمعروفبرایآن رابرترگرمیهدایت ،عالیبرقشکستقدرت ،وتعالیمقاومتبهشیمیاییتخریب ،sic ،کیزوجبادرعایقبستر ،فعال کردندرتوسعهازدستگاهتواناازعملیاتیقابل اعتمادزیرشدیدقدرت ،فرکانس ،وتدرجه حرارتشرایط

اصل
سیکوینازکفیلمقوطیبودنتولیدیاز طریقcmos-سازگارتکنیک هااینقدربه عنوانازبرشوتویفرپیوند زدن ،تسهیل کنندهآنهاادغامبامتعارفنیمه هادیدستگاهسیستم عامل ها

ازبرشتکنیک
یکیبطور گستردهمورد استفادهروشدرگیر کردندرازبرش (باهمبرش)رویکرد ،کجابوهانازکباکرهلایهاست ،منتقل شدهبربوهابستراز طریقیونکاشتپی در پیاز طرفویفرپیونداینروش شناسی ،در ابتداتوسعه یافتهبرایتولید کنندهسیلیکوندرعایق (سو)ویفرهادرمقیاس ،صورتچالشکیکاربردیبهsicبه طور خاص ،یونکاشتقوطیمعرفی کردنساختارینقصدرباکرهاین کههستندسختبهترمیم کردناز طریقگرمیبازپرداخت ،پیشروبهمهمنوریضرردروابسته به نوردستگاه هاعلاوه بر این ،بازپختدردمابالا1000 درجهجفماه مهاختلافباویژهفرآیندمحدودیت ها

بهغلبه کردناینهامحدودیت ها ،مکانیکیرقیق کنندهاز طریقسنگ زنیوتشیمیاییمکانیکیصیقل دادن (CMP)قوطیکاهش دادندرsic/sio₂-siترکیبیلایهبهزیر1μm ،بازدهبوهابسیارصافسطحواکنشییوناچ کردن (ری)پیشنهاددراضافیرقیق کنندهمسیراین کهبه حداقل رساندننوریضرردرسیکویسیستم عامل هادرموازی ،خیساکسیداسیون-یاری شدهCMPداشتننشان داده شدهاثردرکاهشسطحبی نظمیوتپراکندگیاثرات ،در حالی کهمتعاقبمرتفعدرجه حرارتبازپختقوطیتقویت کردندر کلویفرکیفیت

ویفرپیوندفناوری
درجایگزینرویکردبرایساختگیسیکویساختارهادرگیر کردنویفرپیوند زدن ،کجاسیلیکونکاربید (sic)وتسیلیکون (SI)ویفرهاهستندپیوستهزیرفشار ،با استفاده ازدراز نظر حرارتیاکسید شدهلایهدرهر دوسطوحبهشکلبوهاپیوندبا این حال ،گرمیاکسیداسیونازباکرهقوطیمعرفی کردنموضعینقصدردرsic/اکسیدرابطاینهانقصماه مهافزایشنوریتکثیرضرریاایجاد کردناتهامتلهسایت هاعلاوه بر این ،درسیولایهدرباکرهاست ،بارهاسپرده شدهبا استفاده ازپلاسما-پیشرفتهشیمیاییبخاررسوب (pecvd) ،بوهافرآینداین کهماه مهمعرفی کردنساختاریبی نظمی

بهخطاباینهامسائل ،دربهبود یافتهروشداشتنبوده استتوسعه یافتهبرایساختگی3c-سیکویچیپس ،کداماستفاده می کندوابسته به بنهپیوندباباسیلیکلیواناینتکنیکحفظ کردنکاملسازگاریباسیلیکونریزگردها ،CMOSمدار ،وتازمستقروابسته به نورادغاماز طرف دیگر ،بی نظمیباکرهفیلمقوطیبودنمستقیماسپرده شدهبرsio₂/siویفرهااز طریقباجیاپاشیدن ،ارائه دهندهبوهاسادهوتcmos-دوستانهساختگیمسیر.اینهاپیشرفتقابل توجهتقویت کردندرمقیاس پذیریوتکاربردیازسیکویفن آوریدرفوتونیک

مزایا
درمقایسهبهجاریمادیسکواینقدربه عنوانسیلیکوندرعایق (سو) ،سیلیکوننیترید (گناه) ،وتلیتیومniobate-درعایق (lnoi) ،درسیکویپلتفرمپیشنهادمتمایزعملفوایدبرایوابسته به نوربرنامه هاباآن رابی نظیرخواص ،سیکویاست ،بطور فزایندهشناخته شدهبه عنوانبوهاامیدوار کنندهنامزدبرایبعدی-تولیدمقدارفن آوری هاآن راکلیدمزایاشامل:

• گستردهنوریشفافیت:سیکوینمایشگاهعالیشفافیتدر سراسربوهاگستردهطیفدامنهازتقریباً400NMبه5000NM—در حالی کهحفظ کنندهکمنوریاز دست دادن ،باموجبرتضعیفبه طور معمولزیر1db/سانتی متر

• چند منظورهتوانایی:درپلتفرمفعال کردنمتنوععملکردها ،از جملهبرقیبیناییمدولاسیون ،گرمیتنظیم ،وتبسامدکنترل ،ساختمنمناسببرایپیچیدهیکپارچهوابسته به نورمدارها

• غیرخطینوریخواص:سیکویحمایتدومهارمونیکتولیدوتدیگرغیرخطیاثرات ،وتمنهمچنینتصویب کردنبوهاقابل دوامبنیادبرایتکعکسبرداریظهوراز طریقمهندسی شدهرنگمراکز

برنامه

سیکویموادادغام کردندربرترگرمیقابلیت هدایتوتعالیشکستولتاژازسیلیکونکاربید (sic)بادرعالیبرقعایقخواصازاکسیدلایه ها ،در حالی کهقابل توجهتقویت کنندهدرنوریخصوصیاتازاستانداردباکرهبسترهااینساخته کردنخود رابسیارمناسببرایبوهاگستردهدامنهازپیشرفتهبرنامه های کاربردی ،از جملهیکپارچهفوتونیک ،مقداراپتیک ،وتمرتفععملقدرتالکترونیک

اهرمدرسیکویسکو ،محققداشتنبا موفقیتساختگیمختلفمرتفعکیفیتوابسته به نوردستگاهاینقدربه عنوانمستقیمموجبرها ،ریزشوتمیکروبیطنین انداز ،وابسته به نورکریستالموجبرها ،برقیبیناییتعدیل کننده ،ماچگورتداخل سنج ها (mzis) ،وتنوریپرتوتقسیم کننده هااینهااجزایهستندمشخصاز طرفکمتکثیرضرروتعالیکاربردیعملکرد ،تأمین کنندهقویزیرساختبرایفن آوریمانندمقدارارتباطاتوابسته به نورنشانهپردازش ،وتمرتفعبسامدقدرتسیستم ها

از طرفمورد استفادهبوهانازکفیلمساختار -به طور معمولتشکیل شدهاز طرفلایه بندیتککریستالsic (دور500-600NMضخیم)بربوهاسیلیکوندی اکسیدبستر -سیکویفعال کردنعملدرخواستارمحیطدرگیرعالیقدرت ،مرتفعدما ،وترادیوبسامدشرایطاینترکیبیطراحیمواضعسیکویبه عنوانبوهاپیشروپلتفرمبرایبعدی-تولیدوابسته به الکتریکوتمقداردستگاه ها

پرسش و پاسخ

q1:چهاست ،بوهاسیکویویفر؟
A1: بوهاsicoi (سیلیکونکاربیددرعایق)ویفراست ،بوهاترکیبیساختارمتمایلازبوهانازکلایهازمرتفعکیفیتتککریستالسیلیکونکاربید (sic)پیوندییاسپرده شدهدردرعایقلایه ،به طور معمولسیلیکوندی اکسید (sio₂).اینساختارترکیب کردندرعالیگرمیوتبرقخواصازباکرهبادرانزوافوایدازدرعایق ،ساختمنبسیارمناسببرایبرنامهدرفوتونیک ،قدرتالکترونیک ،وتمقدارفن آوری ها

Q2:چههستنددراصلیکاربردمناطقازسیکویویفرها؟
A2: سیکویویفرهاهستندبطور گستردهمورد استفادهدریکپارچهفوتونیک ،مقداراپتیک ،RFالکترونیک ،مرتفعدرجه حرارتدستگاه ها ،وتقدرتسیستم هامعمولیاجزایشامل بودنریزشطنین انداز ،ماچگورتداخل سنج ها (mzis) ،نوریموجبرها ،تعدیل کننده ،میکروبیطنین انداز ،وتپرتوتقسیم کننده ها

Q4:چگونههستندسیکویویفرهاساختگی؟
A4: سیکویویفرهاقوطیبودنتولید شدهبا استفاده ازمختلفروشها ،از جملههوشمندبرش (ازبرشوتویفرپیوند) ،هدایت کردنپیوندباسنگ زنیوتCMP ،وابسته به بنهپیوندباشیشه ،یاهدایت کردنرسمازبی نظمیباکرهاز طریقباجیاپاشیدندرانتخابازروشبستگی دارددردرکاربردوتمطلوبباکرهفیلمکیفیت

محصول مرتبط