 |
دست Wafer SiC برای دستکاری Wafer، سازگار با اتاق تمیز، مقاوم در برابر خوردگی، رابط سفارشی
جزئیات محصول:
| نام تجاری: | ZMSH |
|
اطلاعات تکمیلی |
|||
| تراکم: | 3.21g/cm ³ | سختی: | سختی 2500 ولت |
|---|---|---|---|
| اندازه دانه: | 2 ~ 10 میکرومتر | خلوص شیمیایی: | 99.99995 ٪ |
| ظرفیت گرمایی: | 640J · kg-1 · k-1 | دمای تصویب: | 2700 ℃ |
توضیحات محصول
معرفی محصول Wafer Hand
دست وافرهاي سي سي سي يک دستگاه آخر است که براي دستيابي به وافرهاي سخت و با ثبات حرارتي ساخته شدهقدرت مکانیکی بسیار خوبی داره، مقاومت در برابر خوردگی، دوام حرارتی و عملکرد فوق العاده تمیز.و سفیر در محیط های تمیز و با دمای بالا.
ساختار و اصل کار دست وفر
دست Wafer SiC، Wafer ها را از طریق لبه یا پشت آنها با استفاده از ساختارهای شبیه چنگال یا سیستم عامل های سفارشی پشتیبانی می کند.یا دستگیره های مکانیکی امکان انتقال بدون تماس یا حداقل تماس را فراهم می کندسفتی ساختاری بالا آن ثبات ابعادی را در طول حمل و نقل تضمین می کند و موقعیت دقیق و حداقل خطر آلودگی را امکان پذیر می کند.
زمینه های کاربرد Wafer Hand
دست های وفر به طور گسترده ای در فرآیندهای نیمه هادی و اپتوالکترونیک زیر استفاده می شوند:
1سیستم های حمل و نقل پلی (به عنوان مثال، EFEM، FOUP loader، SMIF pod interfaces)
2بارگیری و تخلیه وافره برای لیتوگرافی، حکاکی، کاشت یون، پردازش حرارتی
3ابزار بازرسی، مرتب سازی و طبقه بندی وافره
4.مصاحب شدن، برش، بسته بندی و ایستگاه های آزمایش نهایی
5.معامله دقیق در پانل های نمایش، MEMS، و ساخت بیوشیپ
6مناسب برای Si، SiC، GaAs، GaN، سفیر و سایر زیربناها
مزایای محصولاز Wدر دست
A: از وافرهای 2 تا 12 اینچی پشتیبانی می کند؛ اندازه های سفارشی نیز در دسترس هستند.
س2: آیا دست وافر وافر را خراش می دهد یا آلوده می کند؟
جواب: نه. دست از مواد کم ذرات و مقاوم در برابر فرسایش با لبه های کشش شده ساخته شده است و مطابق با اتاق تمیز است.
س3: آیا می توان آن را با سیستم های رباتیک ادغام کرد؟
A: بله، از رابط های مختلف رباتیک پشتیبانی می کند (به عنوان مثال، استانداردهای SECS / GEM، SEMI) و می تواند برای سیستم های خاص سفارشی شود.
سوال 4: عمر انتظار شده و الزامات نگهداری چیست؟
A: برای بیش از 1 میلیون چرخه کار با حداقل نگهداری طراحی شده است؛ تمیز کردن دوره ای کافی است.
Q5: آیا می توان آن را بر اساس مواد مختلف وافر (Si، SiC، Sapphire، و غیره) سفارشی کرد؟
A: بله. ما طرح های سفارشی بهینه شده برای مواد مختلف وافر با ساختارهای پشتیبانی مناسب ارائه می دهیم.
محصولات مرتبط
12 اینچ سی سی وافر 300 میلی متر سیلیکون کربید وافر رسانا نمک درجه N-نوع درجه تحقیق